公司長期致力于真空泵維修保養fu務，以真空泵維修經驗跟大家分享下真空泵維修一些修理經驗。

有些泵，按其極限真空度的指標來說，也并不是很低的，但是生產上卻希望它還能提高些，應如何著手呢?

 對下面一臺新的2X-30型旋片式油封機械真空泵的修理經驗就可借鑒。在該泵起初進行試抽時并未發現它有什么大毛病。生產上用它單獨抽空希望能穩定地達到熱偶真空計75格以上(相當于麥氏訓·測的5X10;托)，而實際上它比所希望的低不多。

  修理時，將其拆卸后測得其主要部位間隙尺寸為:轉子切點間隙Q 04 nom,高真空室雙面間隙Q 07 mm，低真空室雙面間隙a 08 mm，轉子比旋片短0 02mm。這些數據與表2來比較，還是正常的范圍。

真空泵市場發展現狀

真空泵是一個量大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。

一直以來，真空泵的使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其他部件的損壞。由于真空泵設計為單級設計，同多級真空泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數量上減少了百分之六十。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。