真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡單的真空抽氣系統。

最簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

羅茨真空機組的前級泵的工作液多采用水，也可采用有機溶劑（可用甲醇、乙醇、二甲苯、丙酮等有機溶劑）或其它液體，將前級泵作為閉路循環系統使用，大大減小了對環境的污染，同時大大提高了對有機溶劑的回收。其極限真空度由工作液的飽和蒸汽壓決定。

那么在選擇羅茨真空機組時應注意如下事項：

了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。