凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級(jí)差別也較大,凈化工程是一個(gè)非常細(xì)致的過(guò)程,要關(guān)注到方方面面,下面就由大銳凈化來(lái)簡(jiǎn)單講一講潔凈室中的溫濕度控制吧。

潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以qc。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)樶佳濕度范圍為35—45%。
層流手術(shù)室不僅要求高度潔凈的空氣(進(jìn)入手術(shù)室的空氣首先須經(jīng)高1效過(guò)濾器凈化),而且要求能控制氣流的流通方向(即采用層流超凈裝置),使氣流從潔凈度高的手術(shù)區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域,并帶走和排出氣流中的塵埃顆粒(塵粒)和細(xì)菌;層流是一股細(xì)小、薄層的氣流,以均勻的流速向同一方向輸送;凈化氣流的方向分為垂直層流式和水平層流式兩種,下面我們與大銳凈化一起來(lái)了解一下吧。
1空調(diào)凈化需關(guān)注節(jié)能
空調(diào)凈化是能耗大戶,設(shè)計(jì)與施工中需關(guān)注節(jié)能措施。在設(shè)計(jì)中,系統(tǒng)及區(qū)域的劃分,送風(fēng)量計(jì)算,溫度與相對(duì)溫度的確定,潔凈級(jí)別與換氣次數(shù)的確定,新風(fēng)比,風(fēng)管保溫,風(fēng)管制作中的咬口形式對(duì)漏風(fēng)率的影響,干管支管連接角度對(duì)氣流阻力的影響,法蘭連接是否漏風(fēng)等以及空調(diào)箱、風(fēng)機(jī)、冷水機(jī)組等設(shè)備選擇無(wú)一不與能耗有關(guān),所以,這些細(xì)節(jié)必須要慮到。
2風(fēng)管要求經(jīng)濟(jì)與效率并重
在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對(duì)風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟(jì)又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價(jià)格低廉,方便施工,運(yùn)行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴(yán)密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。
在運(yùn)行中,有時(shí)候管件的局部阻力大大高于風(fēng)管的沿程阻力,這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應(yīng)大于矩形風(fēng)管的邊長(zhǎng),圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風(fēng)管應(yīng)在管內(nèi)加導(dǎo)流片,以減少阻力。而在實(shí)際安裝施工中,較少如此處理。對(duì)于變徑管,不可突然變徑,宜作成漸擴(kuò)(縮)管,漸擴(kuò)管每邊擴(kuò)展角應(yīng)大于15°,漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風(fēng)管的三通要順氣流彎管彎曲分流,支管也應(yīng)有一定的曲率半徑。若要90°角分流,則應(yīng)在彎頭內(nèi)加導(dǎo)流片。
層流手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對(duì)微生物污染采取程度不同的控制,達(dá)到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求,由于手術(shù)室要嚴(yán)格控制低細(xì)菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗(yàn)收指標(biāo),下面就由大銳凈化來(lái)簡(jiǎn)單講一講吧。

強(qiáng)調(diào)
(1)進(jìn)入手術(shù)室必須更換洗手衣褲、鞋帽。
(2)嚴(yán)格控制入室人數(shù)。
(3)盡量減少層流手術(shù)室的開門次數(shù)與時(shí)間(更不可將門打開不關(guān)),維持'相對(duì)密閉狀態(tài)',以防外來(lái)污染的進(jìn)入。
(4)手術(shù)前用酒精擦拭室內(nèi)物品、醫(yī)了程儀器、設(shè)備等。