【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】
潔凈車間的測試:
1.送風量與排風量:如果是紊流潔凈車間,那么就要測量其送風量與排風量。若為單向流潔凈車間,則要測量其風速。
2.各區之間的氣流控制:為證明各區之間氣流運動方向正確,也就是從潔凈區向潔凈度差的區域流動,必須檢測: (1)各區間的壓差正確; (2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確,即從潔凈區向潔凈程度差的區域流。
3.過濾器檢漏:對{gx}過濾器及其外框要進行檢驗,以保證懸浮污染物不會穿過 (1)損壞了的過濾器; (2)過濾器與其外框間的縫隙; (3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內。
4.隔離檢漏:這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈車間。
5.懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述這些測試滿足要求,則{zh1}對粒子濃度和微生物濃度(需要時)進行測量,以便驗明其符合潔凈車間設計的技術條件。
6.室內氣流控制:氣流控制測試的類型要依潔凈車間的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈車間氣流為紊流,則必須驗明室內沒有氣流運行不足的區域。若是單向流潔凈車間,則必須驗明整個室內的風速和風向是符合設計要求的。
7.其他測試:除了上述這些污染控制方面的測試以外,有時還必須進行下述一項或若干項測試: ●溫度●相對濕度●室內加熱與冷卻容量●噪聲值●光照度●振動值
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【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】
潔凈車間是否達標有哪些測試標準?
為證明潔凈車間工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準則的要求: 1.潔凈車間的送風量充足,足以稀釋或xc室內產生的污染。 2.潔凈車間的送風不會顯著增加室內的污染。 3.潔凈車間內的空氣是從潔凈區向潔凈程度差的區域流動,受污染空氣的流動達到{zd1}程度,空氣在門口處和室內建筑中的流動方向正確。 4.室內空氣的運動狀態可保證密室內沒有高濃度聚集區域。 如果潔凈車間達到了上述這些準則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時),以確定其達到了規定的潔凈車間標準。
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潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、xj等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非{bfb}沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
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