液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼內形成泵殼同心的環液,環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。
羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
電機功率、轉速是和真空泵相匹配的,不能更改。風扇安裝于電機主軸上,電機轉速決定了風扇轉速,也不可更換。增加風扇葉片數量雖能起到一定作用,但葉片數量增加后,動平衡不容易找,如找正不好,會引起電機振動增加。
(1)將原風扇罩加長40cm,在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機,軸流風機電機功率850W,轉速1489r/min,電壓380V。原風扇繼續保留。軸流風機另設一路電源控制,軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風機運行,真空泵停運后30min停運軸流風機,以使主電機得到充分冷卻;
(2)定期qc電機上灰塵,保持電機散熱片清潔,增加其散熱能力;
(3)將真空泵所在母線電壓調整為400V。

擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或gong等蒸汽)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為:分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
