斯坦福大學所展示的這一技術進步則標志著完整的工作電路已被創造出來,表明這種材料可能真的會達到人們的期望。
硅是一種普遍存在的自然元素,既可當做導體,也可當做絕緣體。硅芯片的生命周期相較計算機工程師原本的設想已經長了數十年,這是因為雖然晶體管的尺寸在一變小,但人們總有相應的先進工藝在上面蝕刻電路。
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拋光后,晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗,這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物。之后,要經常進行背面擦洗以去除的顆粒。這些晶圓片經過清洗后,將他們按照最終用戶的要求分類,并在高強度燈光或激光掃描系統下檢查,以便發現不必要的顆粒或其他缺陷。
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拋光(化學機械拋光,Chemical Mechanical Polishing) 生產過程中最重要的工藝是拋光晶圓片,此工藝在超凈間中進行。超凈間從一到一萬分級,這些級數對應于每立方米空間中的顆粒數。
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