光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，bao括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。

等離子凈化器簡單判斷方法

低溫等離子體處理系統必須要有一定的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風量需要處理的電功率為2KW～5KW。如果號稱1000米3/時的風量只需要幾十或幾百瓦的電功率，則最多也就是靜電(除塵)處理或局部處理而已。要想分解VOCs沒有一定的能量是不可能的。

廢氣凈化的運用與意義 

目前凈化廢氣的主要新技術,bao括生物法、氧化法、聯合凈化工藝。重點的論述了生物法和聯合凈化的工藝。生物法主要用于低濃度的大氣量的廢氣的處理；氧化法主要用于高濃度的需要回收硫磺資源廢氣的處理；聯合凈化的技術對廢氣的濃度和氣量波動適應性比較好，納米光催化等新技術具有較為廣闊的發展前景。