快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了國際先進生產制造工藝的基礎上自主研發了該產品,擁有獨立的發明專利。該設備不但擁有極快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。物理狀態下的最快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,在綠色節能環保的基礎上真正的讓試樣的極速升降溫!
腔體采用了獨有進氣結構,內管進氣,外管出氣,使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的利器。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的精準性。
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