刀具方面，采用金剛石砂輪，控制背吃刀量和進給量，在超精密磨床上，可以進行延性方式磨削，即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學鏡面。2精密加工和超精密加工的發展趨勢從長遠發展的觀點來看，制造技術是當前世界各國發展國民經濟的主攻方向和戰略決策，是一個國家經濟發展的重要手段之一，同時又是一個國家獨立自主、繁榮昌盛、經濟上持續穩定發展、科技上保持的長遠大計。科技的發展對精密加工和超精密加工技術也提出了更高的要求。從大到天體望遠鏡的透鏡，小到大規模集成電路線寬μm要求的微細工程和微機械的微納米尺寸零件，不論體積大小，其高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復雜化，各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。
(4)對產品高性能的追求。機構運動精度的提高，有利于減緩力學性能的波動、降低振動和噪聲。對內燃機等要求高密封性的機械，良好的表面粗糙度可減少泄露而降低損失。二戰后，航空航天工業要求部分零件在高溫環境下工作，因而采用鈦合金、陶瓷等難加工材料，為超精密加工提出了新的課題。對產品小型化的追求。伴隨著加工精度提高的是工程零部件尺寸的減小。從1989～2001年，從6．2kg降低到1．8kg。電子電路高集成化要求降低硅晶片表面粗糙度、提高電路曝光用鏡片的精度、半導體制造設備的運動精度。零部件的小型化意味著表面積與體積的比值不斷增加，工件的表面質量及其完整性越來越重要
②半精拋：半精拋主要使用砂紙和煤油。油石作業結束后是砂紙作業，砂紙作業時，要注意模仁的圓邊、圓角和桔皮的產生。所以油石流程盡量做到最細加工。 砂紙拋光的重點。砂紙配合較硬的木棒像油石作業一樣約70度角交叉地進行研磨，一面砂紙研磨次數約10次～15次。如果研磨時間過長，砂紙的研磨力會減低，這樣就會導致加工面出現不均勻現象（這也是產生橘皮的原因之一）。砂紙作業時一般都采用竹片進行研磨，實際使用材質彈力小的木棒或硬度低的鋁棒約45度角進行研磨是最為理想的。研磨面不能使用橡膠或者彈性高的材料，不能用45度角研磨的形狀可以用銳角。 砂紙的號數依次