如何正確運用激光干涉儀

1、負坡度

  負坡度曲線向外運行和向內運行兩個測試均出現向下的坡度。在整個軸線長度上，誤差呈線性負增加，這表示激光系統測量的距離短于機床位置反饋系統指示的距離。出現負坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準直調整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補償系數不正確、材料溫度測量不正確或者波長補償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個軸線長度上，誤差呈線性正遞增。這種現象的產生有以下可能：(1)材料熱膨脹補償系數不正確、材料溫度測量不正確或者波長補償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個軸線長度上的重復周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導致周期性曲線的可能原因主要是機床方面的問題，如絲杠或傳動系統故障、編碼器問題或故障、長型門式機床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測試之間具有不變的垂直偏移。產生偏移曲線的可能原因主要是機床方面的問題，如反向間隙未補償或不當補償、車架與導軌之間存在間隙(松動)等。

5、燕尾狀

  在去程測試中出現向下的坡度的情況，回程測試為去程測試的鏡像，去程和回程測試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅動端而逐漸提高。產生燕尾狀的可能原因主要是機床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉、導軌太緊、使用的誤差補償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運行產生負坡度，而反向(向內)運行則產生正坡度。這是絲杠扭轉的一個特殊例子，其中，單向線性誤差補償和單反向值已在控制器中設置。

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數最終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統（壓力、溫濕度傳感器）的讀數準確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：

1.激光器頻率（波長）及頻率穩定性；

2.測量讀數軟件系統帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐棱角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。

激光干涉儀常見故障及解決方法

開機無顯示：1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。

視場不完整：1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。

高度調節不明顯：檢查高度調節旋鈕是否鎖緊。

干涉條紋暗：調節干涉儀上的亮度調節旋鈕。

干涉條紋亂：檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。

被測鏡片星點像找不到：調整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。

條紋亮暗閃動：調節標準鏡頭的圓形圖像。