潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子,有害氣體,xj等之污染物排除,并將室內之溫度,潔凈度,室內壓力,氣流速度與氣流分布,噪音振動及照明,靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間,亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度,溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室,亦稱為無塵室,它是污染控制的基礎,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產,潔凈室被定義為具備空氣過渡,分配,優化,構造材料和裝置的房間,其中特定的規則是操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
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