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全自動ITO檢測機(jī),備主要用于檢測TFT-CELL及Module裸露電極區(qū)域線路異常(因制程和操作不當(dāng)導(dǎo)致的劃傷,從而引起的線路open或short等缺陷)和線路微劃傷(ITO未劃透,暫時可以通電),檢測系統(tǒng)需采用微分干涉成像技術(shù)或其它可以識別線路微劃傷(ITO未劃透,暫時可以通電)的成像技術(shù),并采用先進(jìn)算法判定出缺陷,主要包括自動上料,產(chǎn)品搬送單元、AOI檢測單元,自動下料單元等。
產(chǎn)品尺寸范圍 3-17寸 最小缺陷尺寸 0.002mm 搬送精度 X±0.02mm Y±0.02mm 適用產(chǎn)品 TFT-CELL及Module裸露電極 節(jié)拍 6-12S 電壓/功率 AC220V / 50HZ /10KVA 漏檢率 ≤1% 過檢率 ≤5% 空氣源壓力 0.5-0.7kgf/cm 潔凈度 0.5um
產(chǎn)品尺寸范圍
3-17寸
最小缺陷尺寸
0.002mm
搬送精度
X±0.02mm Y±0.02mm
適用產(chǎn)品
TFT-CELL及Module裸露電極
節(jié)拍
6-12S
電壓/功率
AC220V / 50HZ /10KVA
漏檢率
≤1%
過檢率
≤5%
空氣源壓力
0.5-0.7kgf/cm
潔凈度
0.5um