產品應用
砷烷用于半導體工業(yè)中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與III/V族元素形成化合物半導體
AsH3可用于合成與微電子學及固態(tài)雷射有關的半導體材料。與磷相似,砷是硅及鍺的n-摻染物
注意事項
發(fā)生泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并隔離直至氣體散盡,切斷火源。建議應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學防護服(wq隔離)。切斷氣源,噴霧狀水稀釋、溶解,注意收集并處理廢水。然后抽排(室內)或強力通風(室外)。如有可能,將漏出氣用排風機送至空曠地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以qc可能剩下的氣體。