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三氟化氯
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深圳金谷氣體有限公司

深圳金谷氣體有限公司Valley  Gas  Co.,  Ltd.  (China  Shenzhen)是華南地區{zd0}的氣體供應商之一,座落深圳市寶安區永達工業園,是深圳、東莞、珠海、中山至廣州高速公路交匯點,交通十分方便。公司成立于2000年,是一家集標準氣體和工業氣體研制、開發、生產、銷售為一體的專業公司,占地1500平方米。引進美國Advanced微量氧,氣相色普,完善的質量控制體系,產品質量達到99.99999%以上。公司主要產品有高純氫氣、高純氧氣、氖氣、氬氣、溴化氫、二氧化氮、三甲基硼TMB、硅烷、硅烷其他混合氣體、液氨、蝕刻氣、電子氣體、硫化氫、甲烷、高純正丁烷、高純異丁烷、高純丙烷、高純甲烷、高純丁烷、高純丙烯、異丁烯、丁二烯、乙烷、正丁烯、反-2-丁烯、丙烯、丙炔、乙烯基乙炔、乙基乙炔、羰基硫、丙二烯·新戊烷、高純氧化亞氮(笑氣)、高純氦、超純氦、超純氮、超純氬及標準氣體。三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁、三乙基鎵、三乙基銦、二乙基鋅、二甲基鋅、二茂鎂等(MO源),純度99.9999%。
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三氟化氯(chlorine trifluoride)是無機化合物 ,分子式為ClF?,分子量為92.45。有毒,有強腐蝕性,常溫下為無色氣體,降溫變為綠色液體。可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。中文名三氟化氯英文名chlorine trifluoride化學式ClF3分子量92.45CAS登錄號7990-91-2EINECS登錄號232-230-4熔    點-76.3℃沸    點11.3℃密    度相對密度1.825      -78℃時為2.026外    觀無色氣體或綠色液體應    用用作氟化劑,燃燒劑,推進劑中的氧化物,高溫金屬的切割油等。(1)ClF3主要用來生產六氟化鈾(UF6),以及核燃料加工和后期處理,主要反應方程式:U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF(2)在半導體工業中,三氟化氯被用于清潔化學氣相沉積的反應艙。它具有不需拆卸反應艙就可以qc艙壁附著的半導體物質這一優點。與其它代替的清潔劑不同,三氟化氯在使用前不需經過等離子體激化,因為反應艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導體材料反應。
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