藍寶石拋光液是以高純度硅粉為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低的金屬離子型拋光產品。
藍寶石拋光液主要用于藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光。
如:硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。
藍寶石拋光液的特點:
1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。
2.高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減小對電子類產品的沾污。
3.高平坦度加工,藍寶石拋光液是利用SiO2的膠體粒子進行拋光,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。
藍寶石拋光液根據pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液。
藍寶石拋光液的型號:
堿性型號(pH:9.8±0.5):SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D
酸性型號(pH:2.8±0.5):ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D
粒徑(nm): 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130
外觀: 乳白色或半透明液體
比重 1.15±0.05
組成 SiO2:15~30%
Na2O:≤0.3%
重金屬雜質 :≤50 ppb