潔凈度：以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

  潔凈室：空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的建造和使用應減少室內誘入，產生及滯留粒子，室內其它有關參數如溫度，濕度，壓力等按要求進行控制。

  潔凈區：空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入，產生及滯留粒子，空間內其它有關參數如溫度，濕度，壓力等要求進行控制，潔凈區可以是開放式或封閉式。

  移動式潔凈小室：可整體移動位置的小型潔凈室，有鋼性或薄膜圍擋兩類。

  人身凈化用室：人員在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

  物料凈化用室：物料在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

  氣流流型：對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。

  單向流：沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。

  垂直單向流：與水平面垂直的單向流。

  水平單向流：與水平面平行的單向流。

  非單向流：凡不符合單向流定義的氣流。

  混合流：單向流和非單向流組合的氣流。

  空氣吹淋室：利用高速潔凈氣流吹落并清掉進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

  氣閘室：設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

  傳遞窗：在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

  潔凈工作臺：能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。

  空氣過濾器：在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

  超空氣過濾器：在額定風量下，對粒徑0.1-0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。

  純水：對電解質雜質含量（常以電阻率表征）和非電解質雜質（如微粒，有機物和溶解氣體等）含量均有要求的水。

  生物潔凈室：潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。

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