光伏及半導體行業產品-碳化硅舟 相關信息由 陜西固勤材料技術有限公司提供。如需了解更詳細的 光伏及半導體行業產品-碳化硅舟 的信息,請點擊 http://www.zgmflm.cn/b2b/udcguqin.html 查看 陜西固勤材料技術有限公司 的詳細聯系方式。
主要特點 碳化硅舟(光伏級)結構穩定,材料熱穩定性能好,高溫使用不變形,(半導體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質引入,減少了工藝制程中對設備環境的污染,有效提高產品品質。 詳細說明
光伏行業普遍使用的石英舟托及舟,因其生產工藝和石英材料特性,使用壽命為3-6個月,碳化硅舟托及舟,代替石英,使用壽命可達5年以上,可顯著降低使用成本及維護維修停線造成的產能損失。 應用范圍
適用于光伏設備,半導體設備中晶圓的關鍵承載部件。 碳化硅舟應用半導體立式爐,主要應用于高溫氧化環節和高溫退火環節。