金屬和非金屬固體材料中的氧氮氫是采用惰性氣體熔融原理來檢測,可以在ONH-703氧氮氫分析儀上同時測定氧氮氫含量,或是在ON-702上測氧氮,在N-701上單測氮,在H-701上單測氫。在進行氧氮氫的測定中,將稱量后的試樣放在石墨坩堝中,在氦氣(單測氧可用氬氣)氣流中通過高溫加熱熔融。試樣中的氧與石墨坩堝中的碳反應生成一氧化碳(CO),試樣中的氮以氮氣的形式逸出,這些混合氣由氦氣送到轉化爐中,一氧化碳(CO)轉化為二氧化碳(CO2),氮氣不發生反應。通過轉化爐后的混合氣體被送到紅外檢測池中,在這里二氧化碳(CO2)被檢測。然后,通過紅外檢測后的混合氣體中的二氧化碳(CO2)和水被吸附后,剩余的氮氣,氫氣和氦氣混合氣體通過熱導檢測池被檢測。