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矽旺無氧烤箱AO-2DS FC（針對晶圓產品）
矽旺無氧烤箱AO-2DS FC特點：
無氧烤箱AO-2DS FC針對晶圓產品的連續烘烤，滿足測試要求和老化驗證需求。同時采用快速風冷設計模塊，縮短整個工藝時間。烘烤放置于12英寸和8英寸金屬料盒中的晶圓片。
AO-2DS FC無氧烤箱規格參數
·電源 AC380V，三相， 50Hz；
·內膽尺寸 W600*D500*H610 mm (雙工作腔)
·外部尺寸 W1280xD790xH1720 mm
·功率 18Kw
注：客戶12英寸料架尺寸：W368xL310xH217mm. 2個/腔，上下各一個擺放；
客戶8英寸料架尺寸：W216xL217xH247mm. 4個/腔，上二下二擺放；
了解更多：http:///oven/ao-2ds_fc.htm
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