超精密研磨拋光加工技術可以獲得極高的面型精度
超精密研磨拋光加工技術是研磨行業的gd技術,可以獲得極高的零件表面質量,主要是獲得極高的面型精度(如平面度、平行度等)和無加工變質層的表面現代高科技產品的制造,如單晶硅片、硬磁盤基片、壓電陶瓷換能器等均需要采用超精密平面研磨加工技術,超精密平面研磨可分為四個基本組成部分一研磨盤、研磨液、磨粒和工件。研磨盤是精密研磨加工中的模具,其面型精度對被加工件的面型精度影響非常大,模具表面形貌能在一定程度上“復制”到工件表面上。拋光是利用柔性拋光工具和磨料顆?;蚱渌麙伖饨橘|對工件表面進行的修飾加工。拋光不能提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度,而是以得到光滑表面或鏡面光澤為目的,通常作為精密加工的{zh1}一道工序。因為研磨和拋光的原理基本一致,通常所使用的加工設備也可通用,故經常將研磨和拋光并提,稱為平面研磨拋光機。
超精密研磨拋光可以通過單盤單面研磨拋光或者雙面研磨拋光實現。雙面游離磨料研磨中工件在上下盤之間,研磨時上下表面被同時加工。單面拋光在對單面有平坦度要求,背面形狀復雜不易夾持或單平面基準面及高平坦之鏡面加工要求時;或薄易碎而沒有變形的情形下特別適用。單面游離磨料研磨拋光加工因其適應面廣,仍然是應用最廣泛的加工形式之一。
超精密研磨拋光當前是指被加工零件的尺寸和形狀精度高于0.1,表面粗糙度Ra小于0.025,以及機床定位精度的分辨率和重復性高于0.01的加工技術,目前已進入納米級精度階段。超精密拋光{zd0}的特點是它不改變工件的面型精度.,只改善其表面粗糙度,超精密拋光可使工件的表面粗糙度值達到納米級甚至次納米級。超精密研磨{zd0}的特點是能獲得極高的面型精度,比如超精密平面研磨可以使工件的平面度達到十分之一甚至百分之一微米的水平。因此為使工件獲得高的面型精度,低的表面粗糙度,一般將超精密研磨技術和超精密拋光技術并提,稱為超精密平面研磨拋光技術,取超精密研磨的高精度及超精密拋光的低表面粗糙度,從而加工出非常精密的零件。
目前,先進光電子產品的制造正朝著高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速發展,帶來的對許多光電子產品部件表面的局部平面度及全局平面度提出的前所未有的高要求(如要求表面粗糙度達到亞納米量級),當表面粗糙度達到亞納米量級時,已與原子直徑(小于0.3nm)處于同一數量級,已接近表面精加工的極限。深圳海德從事平面研磨拋光機設備的研發多年,深刻認識到要獲得這么超鏡面的平面效果,細節非常重要,而完善的管理體系,認真負責的工作態度是前提,深圳海德提倡用心鑄造每一個零件,用心體會每一個過程,鑄造精品服務磨界!