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拋光速率對平面拋光機的重要性，平面拋光機操作的關鍵是要設法得到{zd0}的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織，即不會zcj組織。
前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用最細的材料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。 解決這個矛盾的{zh0}的辦法就是采用自動拋光設備。粗拋目的是去除磨光損傷層，這一階段應具有{zd0}的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是次要的考慮，不過也應當盡可能小；其次是精拋(或稱終拋)，其目的是去除粗拋產生的表層損傷，使拋光損傷減到最小。
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