(SLM)是近代光信息處理系統中的器件,它可以對光束進行調整,并將信息加載于一維或者二維的光學數據場上,能有效的利用光的固有速度、并行性和互連能力,達到光波調制的目的,因此空間光調制器被廣泛應用于諸多光學領域。
將空間光調制器與激光加工技術結合起來,不但可以實現gao效率、靈活的激光加工,還可以改善激光加工中存在的問題,如光斑質量以及焦深短等等
激光是一種強度高、方向性好、單色性好的相干光。它可以通過透鏡聚焦成直徑為幾十微米到幾微米的極小光斑,該光斑具有極高的能量密度(108~1010W/cm2)。當激光照射在工件表面時,光能被工件吸收并迅速轉化為熱能,光斑區的溫度可達10000℃以上,使材料熔化甚至氣化,這就是激光加工(LBM)。該技術是一種非接觸加工方式,主要應用于打孔、切割、打標、焊接,等加工工藝方面。
空間光調制器可將飛秒激光調制成復雜的二維圖案陣列,可實現對微光學元件和微光子晶體結構并行直寫的一種加工技術。通過計算全息和空間光調制,飛秒激光可被jing確調制成預先設計的多焦點圖案陣列。利用這種多焦點并行直寫加工技術,可實現具有高尺寸jing度、高表面質量和光學性能的微透鏡陣列的gao效加工。在結構加工的過程中,焦點的數量和陣列分布可以實時靈活的控制,三維結構從而可以被靈活控制。
可編程的空間光調制器,目的是調制空間色散的各光頻成份的振幅和相位,光柵和透鏡看作是零色散脈沖壓縮結構。超短脈沖中的各光頻成份由第一個衍射光柵角色散,然后在第一個透鏡的焦平面聚焦成一個小的、衍射有限的光斑。這里的各光頻成份在一維方向上空間分離,在光柵上從不同角度散開,在第一個透鏡的后焦平面上進行了空間分離,第一個透鏡實現了一次傅里葉變換。第二個透鏡和光柵把這些分離的所有頻率成份重新組合,這樣就得到了一個整形輸出脈沖,這個輸出脈沖的形狀由光譜面上模板的模式給出。
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