產品說明:
采用了獨特的數字位移傳感器,實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。
特點:
● 采用了獨特的數字位移傳感器,可實現高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
● 采用壓電陶瓷作為驅動機構,開環控制時的行程為90μm?100μm,理論分辨率達1nm。
● 位置檢測采用了數字位移傳感器(頻率→數字變換方式的微小位移傳感器),閉環控制時的顯示分辨率為10nm。
● 使用FINE系列控制器,可實現高速定位。
● 重復驅動SFS-H(直動)系列平臺,可達10?15Hz的頻率。若使用FINE-01γ的模擬信號驅動時,可達25Hz。
|