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專業供應青島福潤德牌frd-006擴散爐專用爐體

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青島福潤德微電子設備有限公司

青島福潤德微電子設備有限公司目前的主要產品有太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體，同時承接各種微電子生產線及進口半導體專用設備的翻新改造工作。福潤德全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業務，共圖發展。

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可wq代替進口爐體，優質加熱爐絲，進口保溫材料，采用國外先進加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
設備特點：
可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步
工藝曲線的自動運行控制功能
工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
自動運行中可暫停／繼續運行功能
可存儲多組PID參數供系統運行調用功能
PID參數自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機界面
系統故障自診功能
停電后斷點繼續運行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補償
技術指標：
可配置工藝管外徑2～8英寸

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