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供應FRD-001LED專用爐

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青島福潤德微電子設備有限公司目前的主要產品有太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體，同時承接各種微電子生產線及進口半導體專用設備的翻新改造工作。福潤德全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業務，共圖發展。

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LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業,對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。

特點:

★關鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。

★具有可編程的升、降溫功能。

★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。

★曲線間可以任意鏈接、重復。

★具有高抗干擾能力。

★具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。

★可為您提供斜滾式推拉舟系統,石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統。

主要技術參數:

★可配工藝管數量:1~4管/臺; ★工作溫度范圍:400~1300℃;

★恒溫區長度及精度:300~1000mm 600~1280℃±0.5℃;

★單點溫度穩定性:600~1280℃±0.5℃/24h; ★{zd0}可控升溫速度:15℃/min

★{zd0}降溫速度:5℃/min

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