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專業制造福潤德lpcvd設備

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青島福潤德微電子設備有限公司

青島福潤德微電子設備有限公司目前的主要產品有太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體，同時承接各種微電子生產線及進口半導體專用設備的翻新改造工作。福潤德全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業務，共圖發展。

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LPCVD 用于淀積Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣泛應用于半導體集成電路、電力、電子、光電子及M等行業的生產工藝中。

■ 設備主要特點
◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現自動控制。 ◆ 采用進口壓力控制系統,閉環控制,穩定性強。 ◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。

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