金屬應(yīng)變儀與半導(dǎo)體應(yīng)變儀的區(qū)別

   金屬應(yīng)變儀的工作機理是所謂幾何效應(yīng)：當(dāng)應(yīng)變儀拉長時，則其截面積減小，從而造成電阻增大。金屬應(yīng)變儀主要是采用康銅之類的Cu-Ni合金來制作，往往采用彎曲的條狀結(jié)構(gòu)。這種應(yīng)變儀在較小的功耗下具有較大的靈敏度和較大的電阻。

      半導(dǎo)體應(yīng)變儀的工作機理，除了幾何效應(yīng)以外，還有更為重要的所謂壓阻效應(yīng)(壓電效應(yīng))：當(dāng)應(yīng)變儀拉長或者縮短時，半導(dǎo)體的載流子遷移率將發(fā)生變化，則導(dǎo)致電阻變化。半導(dǎo)體應(yīng)變儀主要是采用Si來制作，常常采用擴散或者離子注入式的結(jié)構(gòu)，這與IC工藝兼容。這種應(yīng)變儀具有較好的溫度穩(wěn)定性、更好的線性度、更大的應(yīng)變范圍和使用靈活（如易于附著在彎曲表面上）。為了提高靈敏度和線性度，往往采用p型半導(dǎo)體（不用n型半導(dǎo)體）；而且為了提高溫度穩(wěn)定性，多半采用高摻雜半導(dǎo)體（1020cm-3，但要折中慮靈敏度）。

應(yīng)變儀電橋的讀數(shù)方法:

一、直接讀數(shù)法：將電橋的輸出直接或經(jīng)放大器放大后，用電表讀出或用示波器記錄。電表的讀數(shù)或示波器的記錄曲線正比于被測量的量程或變化過程。一般動態(tài)測試儀器即動態(tài)應(yīng)變儀都是采用這種讀數(shù)方法。但在使用前必須標(biāo)定。

二、零讀數(shù)法：利用一些調(diào)節(jié)元件（可調(diào)電阻）使電橋恢復(fù)平衡，然后記下調(diào)節(jié)元件的調(diào)節(jié)量，從而計算被測量的大小。這時，指示電表只起平衡指示作用。一般靜態(tài)測試儀器如靜態(tài)應(yīng)變儀常采用這種讀數(shù)方法。

動態(tài)應(yīng)變儀和靜態(tài)應(yīng)變儀的平衡指示器

　動態(tài)應(yīng)變儀的平衡指示器作用：指示橋路是否達到初始平衡。測量前要將電橋調(diào)平衡，即通過一個轉(zhuǎn)換開關(guān)把電橋直接與平衡指示器（直流電表）相接。如果電橋沒達到初始平衡，平衡指示器的指針將發(fā)生偏轉(zhuǎn)。因此，在這里平衡指示器的作用就是指示橋路是否達到初始平衡。

　　靜態(tài)應(yīng)變儀的平衡指示器作用：指示讀數(shù)電橋的輸出與測量電橋的輸出是否等值反相。當(dāng)讀數(shù)電橋的輸出與測量電橋的輸出等值反相時，平衡指示電表回零，此時應(yīng)變儀的應(yīng)變讀數(shù)就是測點處的應(yīng)變。因此，靜態(tài)應(yīng)變儀的平衡指示器的作用就是指示讀數(shù)電橋的輸出與測量電橋的輸出是否等值反相。