無線傳感器網絡是新興的通信應用網絡，其應用可以涉及到人類生活和社會活動的所有領域。因此，無線傳感器網絡將是未來的一個無孔不入的十分龐大的網絡，需要各種技術支撐。目前，成熟的通信技術都可能經過適當的改進和進一步發展，應用到無線傳感器網絡中，形成新的市場增長點，創造無線通信的新天地。

無線傳感器網絡就是由部署在監測區域內大量的廉價微型傳感器節點組成，通過無線通信方式形成的一個多跳自組織網絡，其目的是協作地感知、采集、處理和傳輸網絡覆蓋地理區域內感知對象的監測信息，并報告給用戶。 它的英文是Wireless Sensor Network, 簡稱WSN。 大量的傳感器節點將探測數據，通過匯聚節點經其它網絡發送給了用戶。

電容式壓力傳感器的溫度特性好，所以國內對其溫度效應的研究很少。但隨著MEMS技術的發展，人們對傳感器的性能要求越來越高，傳感器的溫度特性也開始受到人們的重視。接觸式或非接觸式壓力傳感器都存在一定的溫度效應，如果能xc溫度影響，保證良好的壓力特性，將使得傳感器具有更良好的應用前景。介紹基于SOI硅／硅鍵合工藝的接觸電容式高溫壓力傳感器的結構及測試裝置，通過對傳感器真空和大氣環境下的高溫測試來分析溫度對傳感器測試結果的影響。

溫度傳感器及熱敏元件

溫度傳感器主要由熱敏元件組成。熱敏元件品種教多，市場上銷售的有雙金屬片、銅熱電阻、鉑熱電阻、熱電偶及半導體熱敏電阻等。以半導體熱敏電阻為探測元件的溫度傳感器應用廣泛，這是因為在元件允許工作條件范圍內，半導體熱敏電阻器具有體積小、靈敏度高、精度高的特點，而且制造工藝簡單、價格低廉。