8"探針臺

8" probe station

特點

類型

規格

* 適應8英寸的各種半導體器件的高精度測試

* 舒適大手柄驅動CHUCK

* 20X~4000X 光學顯微放大

* 無后座力移動

* 針座平臺可以微調升降便于探針卡再定位

顯微鏡控制

在探針臺本體的功能設計上增加了顯微鏡的氣動升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題

顯微鏡放大倍率：20X~4000X （倍率可選）

顯微鏡X-Y軸行程2" x2"

chuck（卡盤）

尺寸：8英寸，圓形（方形可選）

材質：不繡鋼（可升級鍍金）

旋轉角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動行程：8" x8"

Chuck升降：可以快速升降6MM，并且附帶旋鈕細微調節功能

吸附孔：中心孔徑最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，{zd0}能夠吸住尺寸為8"X8"

整體規格

尺寸：840mm長 x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡)

重量： 180 Kg(帶顯微鏡)

平臺升降：平臺上下粗調行程6mm 通過升降桿調整

平臺上下細調行程25 mm 通過旋轉手輪

U型大平臺設計，可以放置8個gd探針座，方便技術人員長時間舒適操作

可選附件： laser（激光）系統、探針卡夾具、加熱臺、防震桌、帶真空底座的活動Chuck、高壓測試/大電流測試、封裝器件夾具、PCB板夾具、屏蔽箱