? 總重約 150千克
? 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH
? 12" 卡盤,采用中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品,均獨立控制,中心吸附孔最小可以選擇250微米
? 卡盤平整度: 5μm, 標準卡盤可360度無間隙旋轉
? 卡盤X/Y軸無間隙移動,大手柄旋轉控制,行程:12英寸X 12英寸,移動精度:1um,并帶鎖死裝置
? 可調節顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內移動,精度1微米(系統不包含顯微鏡)
? 可調節顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡,帶自動鎖定功能
? 平臺快速升降行程 6mm并帶自動鎖定功能
? 平臺上下微調行程25mm,升降精度1um
? 平臺可升降調節適合加裝探針卡,便于針卡重定位
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