真空泵的特點(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
旋片式真空泵具有結構緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。羅茨真空泵是一種旋轉式變容真空泵,須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內,有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵,需要用前級泵輔助。如:水環式真空泵,滑閥真空泵,立式無油真空泵,分子真空泵等。國內羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。真空泵與系統的連接管道應密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。