主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的wq隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。

水環泵的有點：結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。

擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為：① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。