吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。

干式真空泵式指泵能從大氣壓下開始抽氣，又能將氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或接近的機械真空泵。目前，大多數機械真空泵都是用油、水或其他流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科技發展及真空應用領域的擴大，原有的真空泵出現了兩個急需解決的問題：一是泵的工作解釋返流污染被抽容器，在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本;其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，是泵不能正常工作。這時就要用到干式真空泵。

在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用，以防真空泵反轉噴油。對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。當真空泵排出氣體影響工作環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。