雖然液環泵屬于粗真空泵,但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,由于液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提{gx}率,降低能耗。

干式真空泵的應用主要有以下幾個方面:低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝半導體刻蝕工藝,在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。除半導體工藝外某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來, 伴隨著我國經濟持續高速發展,真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭,同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。
