潔凈室的地板系統(tǒng)除了需要給在這個區(qū)域工作的人們提供穩(wěn)定的立足點外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設(shè)備,為必要的設(shè)備維修提供方便的通道,并且還要具備堅固的表面保證設(shè)備可以在上面進行改造。潔凈室的地板也提供了電力系統(tǒng)的接地,起到傳導(dǎo)和靜電耗散的作用,xcESD積累。
由于所有這些原因,潔凈室的地板成為整個潔凈室中最重要的組成部分。然而,很多設(shè)備經(jīng)理或工具安裝人員,在使用潔凈室時都會碰到地板帶來的麻煩。舉個例子,人們要進入地板下面的空間時,就會認識到——由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時候,通常地板塊無法wq復(fù)原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時候,經(jīng)常會損壞它們。
潔凈室:
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計在千級以上至30萬級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)
(1)自凈時間:是指潔凈室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達到所設(shè)計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
(2)換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設(shè)計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激1活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
眾所周知,環(huán)境污染主要是工業(yè)污染造成的。其中,大氣污染和水體污染一方面對人們的健康造成影響,另外一方面也會影響生產(chǎn)過程和產(chǎn)品質(zhì)量。綜上所述,為了減少室內(nèi)污染對生產(chǎn)過程的影響,就必須通過潔凈技術(shù)來改善或解決室內(nèi)污染問題。可以肯定,在普通的生產(chǎn)車間想要控制整個微環(huán)境的懸浮粒子濃度,使其達到工藝要求的潔凈程度是wq不可能的。只有建造無塵車間,采用密閉的結(jié)構(gòu),合理的氣流組織及合理的壓差,才能使其微環(huán)境內(nèi)達到所要求的空氣潔凈度,滿足生產(chǎn)要求。