潔凈室的地板系統除了需要給在這個區域工作的人們提供穩定的立足點外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設備,為必要的設備維修提供方便的通道,并且還要具備堅固的表面保證設備可以在上面進行改造。潔凈室的地板也提供了電力系統的接地,起到傳導和靜電耗散的作用,xcESD積累。
由于所有這些原因,潔凈室的地板成為整個潔凈室中最重要的組成部分。然而,很多設備經理或工具安裝人員,在使用潔凈室時都會碰到地板帶來的麻煩。舉個例子,人們要進入地板下面的空間時,就會認識到——由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時候,通常地板塊無法wq復原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時候,經常會損壞它們。
潔凈室:
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)
(1)自凈時間:是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室,室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
(2)換氣次數(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規范:15次/小時)
優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激1活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
眾所周知,環境污染主要是工業污染造成的。其中,大氣污染和水體污染一方面對人們的健康造成影響,另外一方面也會影響生產過程和產品質量。綜上所述,為了減少室內污染對生產過程的影響,就必須通過潔凈技術來改善或解決室內污染問題。可以肯定,在普通的生產車間想要控制整個微環境的懸浮粒子濃度,使其達到工藝要求的潔凈程度是wq不可能的。只有建造無塵車間,采用密閉的結構,合理的氣流組織及合理的壓差,才能使其微環境內達到所要求的空氣潔凈度,滿足生產要求。