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設備類型:在線全自動3D SPI
特性:3D高精度輪廓測量技術應用
適用基板: 50mm x 70mm - 510mm x 460mm
基板厚度: 0.6mm - 6.0mm
分辨率:10μm - 15μm (可調)
高度測量精度:1μm
外形尺寸:W1000 x D1170 x H1800(mm)
設備重量:740kg