微型低溫探針冷臺(tái),可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置
一部分：系統(tǒng)及指標(biāo)描述
1、總體規(guī)格
尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）
自重：約80Kg
2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)
（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）
（2）探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍x軸12mm ±6mm，y軸12mm ±6mm，z軸12mm ±6mm，調(diào)節(jié)精度≤5μm。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；
（4）變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01K
（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖
（6）系統(tǒng)直流漏電低于10pA
3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀
4、設(shè)備照片（因配置不同，照片僅供參考）
微型低溫探針冷臺(tái)
技術(shù)參數(shù)；
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真空腔體
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類型
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加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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腔體內(nèi)尺寸
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φ90x40mm
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
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腔體抽氣口
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KF16
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腔體進(jìn)氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體出氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺(tái)
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樣品臺(tái)材質(zhì)
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304不銹鋼
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樣品臺(tái)尺寸
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26X26mm
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樣品臺(tái)-視窗 距離
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30mm（可選凹視窗間距15mm）
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樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器
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A 級(jí)PT100鉑電阻
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樣品臺(tái)溫度
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室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃）
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樣品臺(tái)測(cè)溫誤差
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±0.2℃
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樣品臺(tái)變溫速率
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高溫10℃/min 低溫5℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機(jī)界面
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溫控類型
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標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號(hào)輸入類型
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PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線
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探針
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電信號(hào)接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可定做6探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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12mm ±6mm
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X軸控制精度
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≤5μm
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Y軸移動(dòng)行程
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12mm ±6mm
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Y軸控制精度
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≤5μm
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Z軸移動(dòng)行程
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12mm ±6mm
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Z軸控制精度
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≤5μm
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數(shù)碼顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡放大+電子放大
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顯微鏡放大倍數(shù)
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100倍
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顯微鏡工作間距
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50-150mm
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相機(jī)分辨率
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1080P 60幀
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相機(jī)信號(hào)輸出
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HDMI輸出+USB輸出
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LED可調(diào)光源
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LED光源
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顯示屏
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5寸 屏幕一體機(jī)
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