等離子清洗機KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150W 13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備，主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該等離子清洗機KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機內置高純石英倉體，容積為2升。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術，使其有效容積增大，不同真空 氣體環境下容易匹配，且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作，特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。
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供電電源
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AC220V（AC110V可選)
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工作電流
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整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
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射頻電源功率
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150W
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射頻頻率
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13.56MHz
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頻率偏移量
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＜0.2MHz
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特性阻抗
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50歐姆，手動匹配
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耦合方式
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電容耦合
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真空度
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≤100Pa
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腔體材質
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高純石英
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腔體容積
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2L(內徑110MMX深度220MM)
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觀察窗內徑
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Φ65
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氣體流量
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10—100ml/min（其他量程可選）
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過程控制
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過程手動控制
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清洗時間
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手動開關
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開蓋方式
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鉸鏈側開式法蘭
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外形尺寸
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400x380x360mm
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重量
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23Kg
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真空室溫度
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小于65°C
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冷卻方式
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強制風冷
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標配
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KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。
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