兩英寸真空高低溫探針臺 產品用途：探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃、低溫-190℃。 真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中x方向調節范圍：0--30mm; y方向調節范圍：0—20mm；z方向調節范圍：0—20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
兩英寸真空高低溫探針臺 的技術參數：
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真空腔體
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腔體材質
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側開
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加熱臺材質
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304不銹鋼
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內腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺間距
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75mm
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加熱臺溫度
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﹣196~400℃
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加熱臺溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號接頭
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SMA轉BNC X 4
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電學性能
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絕緣電阻≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
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探針數量
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4探針
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探針材質
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡
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物鏡倍數
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數
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19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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