小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會
越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤
差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵
抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調(diào)整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數(shù)
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真空腔體
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類型
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加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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腔體內(nèi)尺寸
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φ90x40mm
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
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腔體抽氣口
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KF16
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腔體進氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體出氣口
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公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺
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樣品臺材質(zhì)
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304不銹鋼
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樣品臺尺寸
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26X26mm
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樣品臺-視窗 距離
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30mm（可選凹視窗間距15mm）
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樣品臺測溫傳感器
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A 級PT100鉑電阻
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樣品臺溫度
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室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）
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樣品臺測溫誤差
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±0.2℃
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樣品臺變溫速率
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高溫10℃/min 低溫5℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機界面
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溫控類型
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標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號輸入類型
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PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
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探針
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電信號接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
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電學性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可定做6探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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12mm ±6mm
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X軸控制精度
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≤5μm
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Y軸移動行程
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12mm ±6mm
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Y軸控制精度
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≤5μm
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Z軸移動行程
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12mm ±6mm
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Z軸控制精度
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≤5μm
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數(shù)碼顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡放大+電子放大
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顯微鏡放大倍數(shù)
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100倍
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顯微鏡工作間距
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50-150mm
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相機分辨率
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1080P 60幀
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相機信號輸出
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HDMI輸出+USB輸出
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LED可調(diào)光源
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LED光源
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顯示屏
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5寸 屏幕一體機
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