真空探針臺KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探 針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應(yīng)用：
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
· 結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設(shè)計，可通保護氣氛
· 4探針，手動定位（可擴展為6個）
· 支持改動或定制
真空探針臺KT-Z160TZ參數(shù)
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真空腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側(cè)開
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加熱臺材質(zhì)
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304不銹鋼
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內(nèi)腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺間距
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75mm
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加熱臺溫度
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﹣196~400℃
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加熱臺溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號接頭
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SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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探針數(shù)量
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4探針
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探針材質(zhì)
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡
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物鏡倍數(shù)
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調(diào)光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數(shù)
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19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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