外置質量流量計氣體配比器KT-C4ZS兩元或多元需要混合的氣體經過單向閥進入兩級或多級壓力平衡裝置,平衡其輸入壓差,從而保證了混合前組分氣體和稀釋氣體的壓力絕 對相同,然后調節流量控制閥,可將各種氣體的流量依據希望達到的混氣比例進行調定。原理上采用動態氣體混合法,即混即用,從而保證了混合氣體的均勻性,復現性優良,比例穩定。
1流量計采用七星質量流量計
2量程和精度和氣體都是根據需求定制
3氣路采用316拋光管道耐腐蝕性強
4采用7寸觸摸屏控制 5段可編程序(時間-流量隨意設置定值)
外置質量流量計氣體配比器
產品型號
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KT-PCS4Z
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KT-C4ZS
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氣體通道
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4進1出
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4進1出
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可根據需求定制
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產品類型
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高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制
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可選量程
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20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選)
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產品精度
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高精度型±1%F.S
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普通型±1%F.S
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重復精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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線性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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響應時間
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作溫度范圍
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(5~45)°C
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供電電源
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~85-265VAC 50/60Hz
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最 大功耗
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40W
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進氣口壓
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≤0.6MPa
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連接管道
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316不銹鋼管道
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截止閥類型
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電磁閥
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單向閥開啟壓力
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0.02Mpa
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壓力顯示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸觸摸屏智能調節
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時間設定
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0-32000分鐘
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清洗功能
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一鍵清洗
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程序控制
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5段可編程序(時間-流量隨意設定值)
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壓力顯示
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有(出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路)
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氣體混合罐
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有(內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻)
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氣體加熱
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無(可選配氣體混合罐加熱,加熱溫度室溫至350℃可調)
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流量累計
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有(累計當前運行總流量)
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可選進出氣口接頭形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
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抗電磁干擾
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有
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外形尺寸
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550x380x400mm
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重量
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18KG~20KG
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