高品質(zhì)鋼質(zhì)蜂巢臺(tái)面：
光學(xué)隔振平臺(tái)由鋼質(zhì)蜂巢內(nèi)核、頂板及底板組成，在降低重量的前提下提供了足夠的硬度。光學(xué)隔振平臺(tái)頂板為高導(dǎo)磁性不銹鋼材料，底板為氧化處理碳鋼板，四周側(cè)板內(nèi)層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板.
氣浮隔震裝置：
氣壓式防振裝置，符合 JISD-4101 氣墊耐壓試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) ；自然頻率 3Hz~5Hz，最 大使用壓力 4.5Kg/cm^2。；本體采用 Neoprene Rubber，一體成型氣密性佳。防振效果極高，一般設(shè)備效率可達(dá) 97%以上。
桌式氣浮隔振平臺(tái)配微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
196℃至350℃微型高低溫探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)精美，外觀小巧，搭配4探針，留有石英玻璃觀察窗，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，氣敏測(cè)試，光敏測(cè)試等。
桌式氣浮隔振平臺(tái)配微型探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
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真空腔體
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類型
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高溫型室溫到350℃
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高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼 6061鋁合金 可選
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腔體內(nèi)尺寸
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127mmX57mmX20mm
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腔體外尺寸
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150mmX80mmX32mm
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腔體重量
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不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
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腔體抽氣口
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KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
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腔體真空測(cè)量口
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KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
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腔體進(jìn)氣口
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6mm快擰 或 6mm快插
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腔體冷卻方式
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腔體水冷+上蓋氣冷
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腔體水冷接口
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺(tái)
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樣品臺(tái)材質(zhì)
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不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
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銀銅合金 純銀塊
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樣品臺(tái)尺寸
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26x26mm
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樣品臺(tái)加熱方式
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電阻加熱
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電阻加熱 液氮制冷
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樣品臺(tái)-視窗 距離
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11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
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樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器
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PT100型熱電阻
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樣品臺(tái)溫度
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室溫到400℃
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室溫到400℃ 室溫到-196℃
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樣品臺(tái)測(cè)溫誤差
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±0.5℃
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樣品臺(tái)升溫速率
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高溫100℃/min 低溫7℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機(jī)界面
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溫控類型
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標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號(hào)輸入類型
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PT100 （可選K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱
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直流線性電源加熱+液氮流速控制器
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
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溫控器尺寸
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32cmX170cmX380cm
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溫控器重量
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約5.6KG
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探針
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電信號(hào)接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可擴(kuò)展5探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）
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探針尖
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10μm
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手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
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X軸控制精度
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≥500μm
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R軸移動(dòng)行程
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120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
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R軸控制精度
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≥500μm
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Z軸移動(dòng)行程
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2mm ±1mm
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Z軸控制精度
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≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）
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