高真空150分子泵組合,泵組搭配機械泵抽氣口和分子泵抽氣口,可根據需求使用,前級采用雙極四旋片真空泵,2.2L/S。分子泵采用150分子泵,空載極限壓強為1X10-4Pa
高真空150分子泵組合KT-150YCF技術參數:
控制方式
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手動人機界面控制
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前級泵接口
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KF25(客戶根據真空環境潔凈度要求自行安裝前級泵)
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分子泵
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FF-100/150 51000轉/分
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分子泵抽氣速率
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140L/S
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分子泵啟動時間
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≤2min
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空載極限壓強
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≤1X10-4Pa
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真空測量方式
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冷陰極標準規管
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真空測量范圍
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1E﹢2到1E-5 Pa
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真空測量精度
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1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數 重復性: ±5%
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抽氣接口
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KF25
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閥門類型
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KF25手動擋板閥
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系統電源
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AC220V
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系統功率
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≤750W
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環境溫度
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5~32℃
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冷卻方式
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強制風冷卻
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濕度
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≤80%RH
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外形尺寸
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250 X360 X 300mm (寬-深-高)
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重量
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25KG
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隨機配件:KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個
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質譜分析表面分析電子顯微鏡3d打印無損探測科學研究
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應用領域
平板顯示薄膜電池Low-E玻璃ITO碳化硅加速器真空爐晶體晶振
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