等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。等離子清洗機能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂 光刻膠：簡單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉，光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發生化學反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。
我們等離子清洗機的優勢：1:真空度：用皮拉尼原理測量到Pa，市面上別人用壓力規測試，他們是千帕，不是一個量級的。 2：我們是用的進口的氣體流量傳感器原理，我們是質量流量計檢測氣體，度是通入流量的±1.5%，友商/市面上用的是浮子流量計，是滿量程的4%，而且那個浮子球是上下浮動，手碰一下亂跑，說是4%，肯定達不了那么高。3：我們是石英腔體，潔凈度高，市面大部分是不銹鋼腔體。4：功率是150W，國內都是統一的，別人說的是200-300瓦，那很多都是虛的。和友商同等規格 同等大小 對比 我們有以下優勢一 2路流量計 質量流量計采集更精準 友商 浮子流量計 只能看浮球飄忽不定
二 流量控制 2個精密針閥調節 線性調節度較好 友商 普通浮子流量計 流量只能控制大概
三 真空采集 皮拉尼原理 真空計 測量大氣壓到0.1Pa的真空 友商 壓力傳感器 測量極限-99KPa 具體多少真空誰知道
四 通過精準的流量檢測及真空采集 使自動控制一氣呵成 通過檢測固定的真空值讓射頻輝光 即使是手動匹配射頻電源 也只需要匹配一次 下次相同工藝 基本不需要再次調節匹配 友商 真空度都測不準談啥控制。 @科探儀器設備
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