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PECVD射頻模塊

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鄭州科探儀器設備有限公司

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鄭州科探儀器設備有限公司

鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室及科學院校，科探儀器已經成為老師同學和信任的品牌。   公司以科技創新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術專利10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！

    目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀   小型蒸鍍儀  石英管真空封口真空探針臺  半導體等。主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

    公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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PECVD射頻模塊：PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學物質，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點，工藝流程簡單，與傳統CVD系統比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊的技術資料

型號	KT--PE150S	KT-PE500Z
信號頻率	13.56MH? ±0.005%
功率輸出范圍	0-150W	0-500W
功率穩定度	≤5W
反射功率	40W
射頻輸出接口	7/16 female 50 Ω
功率穩定度	≤5W
匹配方式	手動調節匹配	500W自動匹配
耦合方式	電感式耦合
輝光壓力	≤30Pa
供電電壓	AC220V±10% 50/60H?
整機效率	≥70%
冷卻方式	強制風冷
支持爐管直徑	Φ25mm--φ80mm	Φ25mm--150mmφ
感應區	210mm
整機重量	48KG
整機尺寸:H×W×D(mm)	600×600×1100

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