等離子刻蝕機:
*對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進行超AA清洗。
*改變某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
*金屬材料表面的氧化層。
優點:
具有性能穩定,操作簡便,使用成本低,易于維護的特點。對各種幾何形狀,表面粗糙程度各異的金屬,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面進行超清洗和改性,徹底地清洗樣品表面的有機染物。
等離子刻蝕機 技術參數:
供電電源
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AC220V(AC110V可選)
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工作電流
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整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
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射頻電源功率
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150W
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射頻頻率
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13.56MHz
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頻率偏移量
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<0.2MHz
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特性阻抗
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50歐姆,手動匹配
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耦合方式
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電容耦合
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真空度
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≤50Pa
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腔體材質
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高純石英
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腔體容積
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Φ100mmX200mm
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旋轉速度
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20轉/分鐘
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氣體流量
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0—300ml/min
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過程控制
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手動控制
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清洗時間
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手0-999秒
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外形尺寸
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615X390X560mm
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重量
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56Kg
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真空室溫度
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小于65°C
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冷卻方式
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強制風冷
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標配
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KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。
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