高低溫真空探針臺KT-Z1604TZ
真空探針臺可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-190℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
高低溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數
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真空腔體
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腔體材質
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側開
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加熱臺材質
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304不銹鋼
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內腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺間距
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75mm
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加熱臺溫度
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﹣190~400℃
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加熱臺溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號接頭
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SMA轉BNC X 4
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電學性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V
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探針數量
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4探針
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探針材質
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動平臺
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X軸移動行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類別
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物鏡
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物鏡倍數
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數
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19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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