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多晶硅生產硅芯單次五根一爐十五根硅芯爐

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經過長期的研究和實踐，在傳統硅芯爐的基礎上，我公司成功研發了一次可提拉多根硅芯的JN-FZ-400-5型硅芯爐。該設備的成功運行，是半導體材料行業一個歷史性突破，填補了國家空白，處于{sjlx}地位。 JN-FZ-400-5型硅芯爐的基本性能參數 1、原料規格 Φ75～82mm?30mm 2、成品規格 Φ7～12mm?500mm 3、產能 15stick/time 4、上軸快速升降速度 0～800mm/min 5、上軸慢速升降速度 0～25mm/min 6、上軸有效行程 2500mm 7、下軸快速升降速度 0～330mm/min 8、下軸慢速升降速度 0～5mm/min 9、下軸{zd0}行程 6000mm 10、下軸旋轉速度 0～12rpm 11、真空度 ≦3Pa 12、高頻感應加熱電源 2～2.5MHz 上軸有效行程基本尺寸為2500mm，可根據客戶需求，在2000mm～3000mm之間進行調整。
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