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磷檢爐是在真空條件下，在亞氣保護下利用硅區熔時，硅中磷、硼的有效分凝系數的差別及磷、硼從硅中蒸發速率的差別來檢驗硅多晶棒的電子專用設備。 1、原料規格 Φ 20 ?150mm 2、成品規格 Φ 15 ?200mm 3、上下軸{zd0}行程 300mm 4、上軸快速升降速度 0～180mm/min 5、上軸慢速升降速度 0～6mm/min 6、下軸快速升降速度 0～180mm/min 7、下軸升降速度 0～6mm/min 8、上下軸轉速 0～66r/min 9 、真空度 ≤3pa 10、高頻感應加熱電源 2.3MHz
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